セラミックへの溝彫りおよびピン立て
セラミック基板 pin立て セラミック基板 溝彫り
セラミックへブラスト用マスクを貼り加工しています。
φ０．５×３０μｍ		 溝幅2ｍｍ　深さ200μｍ
φ2.5×100μｍ
この加工は、静電チャック等に用いられます。
 
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